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來源: | 發布日期:2022-05-25

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真空狀態下,真空室中空氣極少,膜料分子從蒸發源到達基片表麵的路程中幾乎不與殘留在真空室中的氣體分子碰撞,即分子自由程長,膜料容易沉積在基片上。

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由於真空室中氣體分子少,因而氧分子、硫分子等化學活潑分子也少,高溫狀態的膜料分子就不會與之發生化學變化,從而保證膜層的膜料純度。

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