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來源: | 發布日期:2022-07-29

磁控濺射麻豆专区1区二区 是指高速帶電粒子(電子、離子、中性粒子)轟擊固體表麵並使固體原子(或分子)從表麵發射的現象。濺射塗層是在電場作用下,由輝光放電產生的正離子對陰極靶表麵進行高速轟擊,使原子或分子濺射出來,然後在基體表麵沉積原子或者分子形成薄膜。

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1、由於基體在濺射前可以進行離子清洗,因此濺射原子的能量較高,基體與濺射原子之間會發生熔融擴散,使濺射沉積的塗層具有良好的附著性,與基體結合,薄膜密度高;

2、濺射過程中,通過控製靶電源和放電電流可以精確控製薄膜厚度,具有良好的重複性。

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