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濺射麻豆专区1区二区過程中,在靶與基體之間形成了含有離子、電子、中性原子團組成的對外顯中性的氣體,這就是等離子體。
濺射麻豆专区1区二区過程分為物理氣象沉積、化學氣象沉積、物理/化學氣象沉積他們都是在等離子體中形成的。
物理氣象沉積,是等離子體中的正離子轟擊靶表麵轟擊來的分子/原子濺射到基體表麵,飛行過程中並為發生任何反應。
化學氣象沉積,是等離子體中的正離子轟擊靶表麵轟出來的分子/原子濺射到基體表麵,飛行過程中發生了化學反應。
不過一般的磁控濺射麻豆专区1区二区 都是物理、化學氣象沉積的共同結果。
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